Відновлення та зміцнення робочих поверхонь методом магнетронного розпилення

Технологія магнетронного розпилення є ефективним методом відновлення і зміцнення робочих поверхонь шляхом нанесення вакуумного покриття. Метод дає можливість наносити на робочу поверхню, за допомогою магнітного поля, покриттів з різних типів матеріалів металів, високоміцних сплавів, кераміки та багатьох інших хімічних з’єднань, що мають унікальні характеристики.

Суть процесу полягає в осадженні на підкладці матеріалу мішені серед газової плазми, яка генерується в обмеженому просторі вакуумної камери. При цьому поверхня мішені бомбардується високоенергетичними іонами, в результаті чого звільнені атоми матеріалу мішені, проходячи через вакуумне середовище, осідають на робочій поверхні, утворюючи на ній тонку плівку з необхідними параметрами.

Область застосування методу магнетронного розпилення постійно розширюється. В даний час метод ефективно застосовується для:

• нанесення металевих покриттів на робочу поверхню деталей, збільшуючи їх стійкість до подряпин, механічних пошкоджень та довговічність в експлуатації;
• нанесення покриття на жорсткі диски у комп'ютерній техніці;
• нанесення тонких плівок у мікроелектроніці під час виготовлення напівпровідникових елементів та інтегральних мікросхем;
• нанесення діелектричних матеріалів під час виготовлення ізоляторів;
• нанесення покриттів на текстильні тканини з метою забезпечення антистатичних, протимікробних, електропровідних та інших властивостей;
• нанесення декоративних покриттів на різні матеріали, включаючи скло і кераміку.

Застосування магнетронного розпилення набагато краще за інші методи нанесення тонких плівок завдяки таким якостям, як:

• набагато більш висока швидкість осадження матеріалу покриття;
• мінімальний відсоток пошкодження плівки під час виконання технологічного процесу;
• можливість організації розпилення для значно більшої номенклатури матеріалів;
• набагато вища адгезія матеріалу, що розпилюється, з підкладкою;
• високий ступінь чистоти, щільності та однорідності покриття, що наноситься;
• можливість контролю та зміни параметрів покриття під час виробничого процесу;
• можливість одночасного напилення різних металів, сплавів та оксидів;
• низька температура технологічного процесу дозволяє виконувати напилення на різні матеріали;
• можливість автоматизації та індустріалізації виробничого процесу.

Обов'язковою умовою для напилення тонких плівок із високими технічними характеристиками є забезпечення глибокого вакууму.

Дослідний завод спецелектрометалургії має можливість проектування та виготовлення вакуумних камер різного об'єму для забезпечення необхідного вакууму. Фахівці підприємства гарантують якісне та своєчасне виконання замовлень щодо виготовлення вакуумних камер та іншого необхідного високотехнологічного обладнання для забезпечення виробничого процесу магнетронного розпилення.